直线电机平台（气浮亚微米级精度）

直线电机平台（气浮亚微米级精度）
本公司是具有多年从事直线电机平台系统研制、生产的*。公司产品包括无槽、有铁芯、无铁芯直线电机、圆筒、步进直线电机、力矩电机、精密运动平台等系列产品，广泛应用于半导体制造、精密机床制造、自动化物流输运、激光切割、激光雕刻、玻璃磨边PCB加工、精密检测、纺织及*等设备中。得到客户广泛认可和*好评。

本公司是具有多年从事直线电机平台系统研制、生产的*。公司产品包括无槽、有铁芯、无铁芯直线电机、圆筒、步进直线电机、力矩电机、精密运动平台等系列产品，广泛应用于半导体制造、精密机床制造、自动化物流输运、激光切割、激光雕刻、玻璃磨边PCB加工、精密检测、纺织及*等设备中。得到客户广泛认可和*好评。

■直线电机平台特点：

 直线电机结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、结构简单，定位精度高、反应速度快、灵敏度高，随动性好、工作安全可靠、寿命长、运动噪声低等优点。

◆公司平台按照精度分类可分为：1、纳米级定位平台（1-50纳米） 2、高精度定位平台（0.5-1微米）3、普通定位平台（1-5微米）  4、低精度定位平台（大于5微米）

◆按照复杂程度可以分为: 一维平台、二维平台、三维平台、四维平台、多维平台

◆按材料分1、气浮平台 2、硬铝合金平台 3、铝型材平台3、大理石平台4、钛合金平台

●有铁心直线电机

§        结构

  直线电机+双导轨滑块

§        精度

      直线度≤0.002mm，

      定位精度≤0.005mm,

   重复定位精度≤0.002mm。

§        速度

      5000mm/min

●     无铁心直线电机

§        结构

  直线电机+双导轨滑块+光栅读数头

§        精度

     直线度≤0.002mm，

    定位精度≤0.005mm,

  重复定位精度≤0.002mm。

§        速度

   5000mm/min

●     管式直线电机

• 结构

  直线电机+单导轨滑块+光栅读数头

• 精度

     直线度≤0.002mm，

    定位精度≤0.005mm,

  重复定位精度≤0.002mm。

• 速度

  600mm/S

●     二维气浮直线电机平台

行程：X轴-850mm  Y轴-700mm；

定位精度：X轴-1um  Y轴-1um；

 重复定位精度：X轴-0.5um  Y轴-0.5um

分辨率：10nm 

速度：600mm/s

●     三维龙门式直线电机平台

本公司承接各种非标平台研发、生产,同时提供电气控制系统的整套方案和

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