超声波电机压电陶瓷电机真空无磁电机

基于压电陶瓷的超声波原理，Nanomotion提供Z精密的压电电机，和直流伺服电机类似带有高精度，高运动性能压电陶瓷电机

◆压电陶瓷电机和驱动器部件

特性：

数字位置和速度闭环控制采用频率20KHz

可通过编程实现位置控制，速度控制，手动控制，主-从控制模式；RS232通讯，支持C语言二次开发功能；直线或旋转运动

◆没有行程限制

◆*的运动和稳定性能

◆每步分辨率高于20nm
◆无内部磁场
◆外部磁场干扰小
◆具有适用真空环境的型号

◆压电陶瓷电机超精密平台

◆行程从20mm-200mm

◆定位精度1um-10nm

◆X,X-Y,X-Y-Z多轴可以根据需求组装

◆可选真空电机

纳米陶瓷电机视频：http://v.youku.com/v_show/id_XNjUxNTMwNDI0.html