产品展示
BESTACE 5系列气体质量流量计/控制器
【简单介绍】
【详细说明】
BESTACE 5系列气体质量流量计及控制器,采用了316不锈钢接液材质,具有高稳定性、耐用性、低价位、小体积等优点,被广泛用于设备配套、过程控制、测试设备等场合。5系列产品采用了热式测量原理,因此也具备热式原理的高精度、高灵敏性、宽量程比等特点,且无需平方根修正。同时采取了毛细管取样方式,具有极低的能耗。每台设备出厂前都会按照客户的气体、量程,严格地按照NIST标准进行出厂校准,同时,比例调节阀嵌入在流体通道内,从而保证了精巧的体积。
技术参数:
热式原理
量程:流量计5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材质:接液部位:316L不锈钢
密封材质:标配氟橡胶(Viton);丁纳橡胶(Buna)
泄漏率:不超过1×10 毫升/秒,氦气
环境温度及介质温度:0-60℃
精度:1%FS(包括线性精度)
量程比:100:1
响应时间:1S
重复性:优于0.15%FS
压力极限:500PSIG
zui大压降:流量计:250Pa
控制器:7-14KPa(500SCCM以下)
控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM)
电源:24VDC@250mA(流量计)24VDC@350mA(控制器)
输出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入电源)
设定点信号:内置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳线)
电气连接:9针D接口(9 Pin Sub D)
温度影响系数:优于0.05%FS/℃
压力影响系数:优于0.01%FS/PSI
标准温度:21℃
标准压力:760Torr
重量:流量计:440g 控制器:460g
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