处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点:
1. 整机设计美观, 安全标准。
2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.
处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点:
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2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
System type
Heat-Wet
Features
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
Capacity & Dimensions
500SLM
700mm(W)x850mm(D)x1610mm(H)
Utility
Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust
产品名称 | 参考价 | 地区 | 公司名称 | 更新时间 | |
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韩国MAT尾气处理设备 | 面议 | 西安市 | 西安西能光伏科技有限公司 | 2016-01-04 | 在线询价> |
韩国MAT尾气处理设备 | 面议 | 西安市 | 西安西能光伏科技有限公司 | 2017-07-28 | 在线询价> |
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