DN15 三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀

三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀是由三登公司自主研发的气动执行器，气动执行器由全塑材料研发制造而成，本体为PPH三厘SANKING牌气动隔膜阀；产品性能稳定，使用寿命长。

产品名称:三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀    品牌：三厘/SANKING    气动执行器材质：全塑

气动执行类型：单作用常闭，隔膜阀配置：EPDM隔膜片，

产品尺寸：1/2”~2",DN15~DN50,20mm~63mm;

标准：国标（DIN）；

产品颜色：本体（浅黄色）；(LD:  138  ,6012 ,   2398)

产品尺寸图：

三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀

一、 气动隔膜阀是一种利用空气动力来驱动的开关，具有快速、安全、可靠、易于维护等优点，在半导体行业中被广泛应用于各种工艺气体、液体、真空等管路中。这里介绍气动隔膜阀的工作原理、特点及在半导体行业中的应用。

二、气动隔膜阀的特点

1. 结构简单：气动隔膜阀的结构紧凑，体积小，易于安装和维护。

2. 密封性好：膜片与阀板之间的密封采用软密封结构，密封性能好，能够有效地防止气体和液体泄漏。

3. 动作灵敏：气动隔膜阀的驱动机构采用气动方式，动作灵敏，可以实现快速开关。

4. 适用范围广：气动隔膜阀适用于各种工艺气体、液体、真空等管路中，具有广泛的应用范围。

5. 安全性高：气动隔膜阀采用膜片作为密封件，能够有效地避免物料卡死或粘结现象，提高了设备的安全性。

6. 维护方便：气动隔膜阀的维护非常方便，只需要定期清洗和更换膜片即可。

三、气动隔膜阀在半导体行业中的应用，在半导体行业中，气动隔膜阀被广泛应用于各种工艺气体、液体、真空等管路中，以下是几个典型的应用场景：

1. 工艺气体管路：在半导体制造过程中，需要使用各种工艺气体，如氮气、氧气、氢气等。气动隔膜阀能够快速、准确地控制这些气体的流量和压力，为生产提供稳定的工艺环境。

2. 液体管路：在半导体制造中，各种化学试剂和超纯水需要通过管道进行输送。气动隔膜阀可以控制液体的流量和压力，确保输送过程的稳定性和安全性。

3. 真空管路：半导体制造过程中需要进行真空处理，如薄膜沉积、干法刻蚀等。气动隔膜阀可以在真空系统中起到开关和调节作用，保证设备的正常运行。

4. 尾气处理系统：在半导体制造过程中会产生各种废气，如酸气、有机废气等。气动隔膜阀可以控制尾气处理系统的阀门开关，实现废气的收集和处理。

5. 晶圆传送系统：半导体制造中的晶圆需要经过多个工艺步骤之间的传递。气动隔膜阀可以控制晶圆传送系统的气体管道，确保晶圆在传送过程中的稳定性和清洁度。

四、总结，气动隔膜阀作为一种快速、安全、可靠、易于维护的开关设备，在半导体行业中得到了广泛应用。它具有结构简单、密封性好、动作灵敏、适用范围广、安全性高和维护方便等特点，为半导体制造过程中的工艺控制和设备安全提供了有力保障。随着半导体技术的不断发展，气动隔膜阀在未来有重要作用。