PS602，PS1302 汉钟螺杆式真空泵汉钟PS602汉钟PS1302

汉钟螺杆式真空泵

汉钟干式真空泵
包括中国台湾汉钟干式螺杆式真空泵和中国台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
PDR系列
包括机型 汉钟真空泵 PDR100 ， 汉钟真空泵 PDR602， 汉钟 真空泵 PDR1202
上海汉钟干式真空泵 PS系列 
包括机型  汉钟真空泵PS80 ，汉钟真空泵PS160，汉钟真空泵 PS180，汉钟真空泵 PS602，汉钟真空泵 PS1302
 
中国台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，*压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准 
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命。 

密封马达安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可*避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全 
PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求*之产业。