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中频磁控溅射真空镀膜设备

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  • 更新时间:
  • 所 在 地:
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  • 东莞市汇成真空科技有限公司
  • 2015-06-03 00:29:41
  • 东莞市
  • 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
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【简单介绍】

中频磁控溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜

【详细说明】

中频磁控溅射真空镀膜设备已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜的特点是

1.克服了阳极消失现象,

2.减弱或消除靶的异常弧光放电。因此,提高了溅射过程的工艺稳定性,同时,提高了介质膜的沉积速率数倍。
    汇成公司研发了平面靶,圆柱靶,孪生靶,对靶等多种形式的中频溅射靶结构和布局。该类设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种装饰镀层。

    
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