超纯水设备生产出的水为何可以提高半导体产业的生 产质量

半导体产业是我国电子信息产业的重要组成部分，近年来发展迅速。我国半导体产业的主要产品包括芯片、半导体器件、半导体材料等，应用范围广泛，包括计算机、通信、消费电子、汽车、工业控制等领域。我国半导体产业的发展经历了从引进到自主研发的过程，现在已经具备了一定的技术实力和规模优势，除了国内市场外，还积极发展海外市场。

半导体清洁程度对于产品质量至关重要，能直接影响到产品的安全性和可靠性。半导体清洁不好会导致晶圆表面的杂质含量增加，从而影响到电子元件的工作性能和寿命。在半导体生产中，常常会进行蚀刻、切割、焊接等工艺，会造成半导体表面产生各种杂质。这些杂质成分的清洗需要采用到高纯度的超纯水，才能避免对半导体造成污染。

超纯水成分简单，除了氢原子和氧原子之外，基本不含有任何有机物、金属离子、盐分、细菌和微生物。应用超纯水清洗半导体不但可以去除半导体表面的污垢，也不用担心对其造成腐蚀和污染。超纯水设备是生产这种超纯水的专用设备，采用了“反渗透+EDI+抛光混床”的技术工艺，生产超纯水连续稳定，生产过程无污染、能耗低。

反渗透膜可以有效分离去除超纯水中除了氢氧原子之外的杂质成分，是一种物理分离方式。EDI技术能实现带电荷运行，加快离子迁移速度，实现超纯水深度脱盐。抛光混床工艺处理有力保障超纯水设备出水质量，使出水质量达到18MΩ*cm（25℃）。

超纯水设备生产超纯水质量可靠，应用在半导体行业中能确保产品质量，降低产品报废率，从而提高半导体产业的整体效益，对促进我国半导体科技发展有重要价值。