东莞市普诺克真空科技有限公司
东莞市普诺克真空科技有限公司专注于各式真空镀膜系统,真空泵站,*真空装置设计制造。同时提供真空设备选型,真空泵配套及解决真空,普诺克拥有*的真空技术人才和检测设备。咨询:
真空镀膜系统*普诺克真空科技,自设大型工厂生产,自有设计队伍,多年专注真空泵,真空系统选择东莞市普诺克真空科技有限公司,绿色低能耗,超省电!欢迎前来洽谈订购!
真空镀膜系统的工作原理
启动系统主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,*真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。
真空系统存在的泵的名词解释:
主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。
粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,通常在真空系统中串联一个高真空泵,比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。
真空镀膜系统主泵类型的确定:
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