西安西能光伏科技有限公司
韩国MAT燃烧水洗式尾气处理设备
韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)
PECVD燃烧水洗式尾气处理设备适用于:太阳能光伏、半导体、微电子等行业中多余的危害性气体。处理的气体包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C
主要优点有:
1. 整机设计美观, 安全标准。
2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
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