产品简介
伯东企业（上海）有限公司代理美国HVA 真空闸板阀, 负责其在大陆的销售和维修。
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详细介绍
伯东企业（上海）有限公司代理美国HVA 真空闸板阀, 负责其在大陆的销售和维修。
HVA28200＆88200系列真空矩形闸板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
28200＆88200系列矩形板阀产品特点：
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
28200＆88200系列矩形板阀技术参数
连接形式： 标准或定制法兰
主体材料： 304 不锈钢/ AM-350
公称通径： DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
漏率: 2x10E-9 AtmCC/Sec
压力范围: 1x10E-9 Torr
烘烤温度: 《150℃
适用介质： 水、蒸汽、空气
密封形式： 软密封型
驱动方式： 气动
使用寿命: 1000000 启闭次数
28200＆88200系列矩形板阀部件图
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