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全自动制绒酸洗综合设备(单晶/单、多晶混合)
【简单介绍】
1、进口行走机械臂,运行平稳。全自动控制行程模式,优良的制程调控能力,稳定的高产出率及低破片率,适用于批量生产线
2、1800片(156*156)/小时超大产能。
3、全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落,全自动补液技术。
4、*的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕。
5、成熟的硅片干燥工艺,多种*技术集于一身。
6、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。
【详细说明】
全自动制绒酸洗综合设备(单晶/单、多晶混合)
1、进口行走机械臂,运行平稳。全自动控制行程模式,优良的制程调控能力,稳定的高产出率及低破片率,适用于批量生产线
2、1800片(156*156)/小时超大产能。
3、全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落,全自动补液技术。
4、*的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕。
5、成熟的硅片干燥工艺,多种*技术集于一身。
6、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。
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