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扩散泵机组
特点及用途
JKT、JK系列油扩散真空泵机组是用来获得高真空(10-2—10-5Pa)的主要设备。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统,可获得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。
该机组的特点是抽气能力大,抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择;并可长时间稳定连续工作。它被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。如需其他驱动方法,请在订货时注明。
技术参数
型号 Model
JK-100
JK-150
JK-200
JK-300
JK-400
JK-630
JK-800
极限压力 (Pa) Ultimate Pressure
10-4
抽气速率 (1/S) Pumping speed
100
280
420
900
1800
4000
6500
zui大排气压力 (Pa) Max. pumping pressure
35
加热功率 (Kw) Heating power
0.8
1
1.5
2.1
4.8
8.4
19.8
配用主泵 Matched main pump
K-100
K-150
K-200
K-300
K-400
K-630
K-800
配用挡板 Matched baffle
LB-100
LB-150A
LB-200B
LB-300A
LB-400
LB-630
LB-800
配用阀门 Matched valve
GD-100
GD-150
GD-200
GDQ-300
GDQ-400
GDQ-630
GDQ-800
配用前级泵 Matched backing pump
2X-4
2X-8
2X-15
2X-30
2X-70
2X-70 ZJ-600
接口法兰 Connecting flange
LF-100
LF-150
LF-200
LF-300
LF-400
LF-630
LF-800
结构尺寸 (mm) Structure dimensions
H
870
950
1000
1300
1600
2000
2400
L
550
650
750
850
1100
JTK-100
JTK-150
JTK-200
JTK-300
JTK-400
JTK-500
180
370
600
1400
2500
1.2
2.4
4.5
6
TK-100
TK-150
TK-200
TK-300
TK-400
TK-500
LB-500
GDQ-500
LF-500
1700
1150
1500
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