AFM-30 操作性好速度快AF?微米级深度高度测量仪

1.是结合了光切断的狭缝图像观察和点光图像的AF(自动对焦)追踪的新型深度高度测量机。2.通过连续追踪AF驱动，可实现高精度重复测量，操作性好，速度快。3。由于是一边观察狭缝图像映射出的台阶形状一边进行测量的方式，因此可以实时识别测量画面上的高低，可以容易地判断需要测量的部位。4.测定点处的狭缝图像·点光像·电子线基准线的中心全部一致的测量系统，通过检查偏差，可以防止用错误的数值进行测量。5.光切断的仰角除了标准的90°外，还可以根据用途选择导入30°60°120°。

主要规格

観察方法

光切断方式(利用狭缝光学系统测定深度高度)

■物镜

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動方式

基于点光的AF连续追踪方式(离线时可手动测量)

投射缝隙

10um半反光镜型

Z轴测量

Z轴数字线性仪表0.1阅读

重复精度

~1微米以内

使用光源

半导体激光器(类2)、卤素光源

自动捕捉表示截面形状的细狭缝光、红色激光斑点、阶梯差的变化，Z

轴功能迅速跟随，进行测定数值的数字显示(自动聚焦)·系统)功能

与电子线方式的基准线相结合，扩大了测量范围，提高了利用价值，是

新型的深度高度测量机。