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Model 227 美国西特Model 227超高纯压力变送器

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美国西特Model 227超高纯压力变送器
好处
出色的稳定性,可避免停机
抗EMI/RFI功能防止假停机
符合CE标准
UltraHighPurity(超高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra 产品的应用帮助,其中包括人员帮助和文献帮助,
而客户有责任确定该产品的适用性。

美国西特Model 227超高纯压力变送器   美国西特Model 227超高纯压力变送器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式Block
体棒和面板设计,能够满足如今 300 mm 工具的要求。该
型号占用空间仅 11/8,能节省宝贵的空间 ;结构坚固,是
要求*稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测
应用于
·11/8″“Block气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同, Setra 227 型压
力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛
光至 5 Ra(蕞大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实
现无污染气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC 10 VDC 4-20mA 三种输
出类型,精度达 ±0.25% FS 1.0% 读数。该型号可选符
合工业标准的 11/8 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接
口,另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15
D-sub 接头进行电气连接。与 328 11/8旋转显示屏配合
使用时, 227 型可实现理想的压力测量和显示。
零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比
227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术,配有
316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地
构成可变电容。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使
电容减小。传感器将检测到电容变化,并基于砖利的电荷
平衡原理,通过 Setra *的定制集成电路将其转换为高
精度的线性直流电信号。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造,能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳
定的电压或电流输出信号。
表压、复合压、绝压可选
PSIBAR量程可选
11/8"下法兰安装
Setra   227型传感器于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。2271-1/8"的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使
其非常适合那些要求*稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同,227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料,电解抛光至5Ra10
max.)的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1x10-9atm.cc/sec的氦
渗漏试验。
可选择5VDC10VDC4-20mA输出,227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口
底座,并可选择多芯电缆、4bayonet连接器和一个9针或15D型连接器
用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器,该产品包达到了压力测量
及显示的Ji致。
该*设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节,可选择绝队压、
表压或复合压。
Setra   获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆,从而增加了电容。通过Setra   *的定制集成电路检测电容值的变化,并
利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC电信号。
Setra   的整个超高纯系列均基于Setra   的被广泛认可的电容传感技术,高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰(EMI/RFI)。
应用
模块式1-1/8"气体棒和面板
高纯气体传输系统
半导体工艺工具
好处
出色的稳定性,可避免停机
EMI/RFI功能防止假停机
符合CE标准
UltraHighPurity(超高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra   产品的应用帮助,其中包括人员帮助和文献帮助,
而客户有责任确定该产品的适用性。
227型的技术规格
性能数据
jingRSS*(恒定温度下)读数±1.0%±0.25%全量程
非线性,BFSL±0.15%全量程
滞后0.20%全量程
非重复性0.02%全量程
热效应
补偿范围oF+15+150-9+65
零点漂移%FS/100oF502.01.8
范围漂移%FS/100oF502.01.8
加热漂移0.1%全量程
在额定70oF下校验过的设备。
根据此数据而计算的zui大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF-40+185-40+85
储存温度oF-40+185-40+85
工作温度仅是电子设备的温度Ji限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳不锈钢
电气连接182.88cm.多芯电缆,Bayonet
连接器或D-型连接器
压力接头下安装“C”型密封
通风通过零点和范围接近孔
重量6.5oz184g
电气数据(电压)
电路3根导线(ExcOutCom
激励1030VDC5VFSO
1330VDC10VFSO
输出*05VDC0.25.2VDC**
010VDC0.210.2VDC**
电流消耗<8mA
校准精度为50Kohm负荷,可操作5000ohm或更大的负荷。
零点输出的出厂设置在±25mV之内(限5VDC输出)
±50mV(限10VDC输出)。
范围(全量程)输出的出厂设置在±25mV之内
(限5VDC输出)或±50mV(限10VDC输出)。
电气数据(电流)
电路2根导线
输出420mA
外部负荷0800Ohm
zui大电源电压(VDC=10+0.02x(接收器正Ji导线的电阻)。
zui大电源电压(VDC=30+0.004x(接收器正Ji导线的电阻)。
出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷,进行校准。
零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
范围(全量程)输出的出厂设置在±0.08mA之内。
压力媒介
316L不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变更,恕不另行通知。
外形图
2.71
68.83

传感器范围及零点调节
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
Ø1.05
Ø26.67
1.23
31.24
15
D
3.66
92.96

小排量传感器舱
Ø1.00
Ø25.4
Ø0.86
Ø21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
Ø0.19
Ø4.83

安装孔
in
mm
2271E5

型号范围压力压力接头输出电气终端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=
绝队压
C=复合压
G=表压
E5=下安装“C”型密封
1.125”底座)
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.
多芯电缆
B1=4引脚Bayonet接头
D9=9D型接头
D1=15D型接头
M1=5针微型DIN接头
F=±0.25%全量
程(有检定证
书)
J=±1.0%读数
(有检定证书)
订购信息
写出表格内所有方框内的代码。
示例量程0100PSIG,下安装“C”型密封法兰,输出4-20mA15D连接器,读数精度为±0.25%全量程的217型变送器,
其零件号为2271100PGE511D1F

 


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