上海华械自动化设备有限公司
流量范围从10SCCM-500SLM,可以满足大部分客户的需求
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量程(N2) | 10SCCM-10SLM | 20-50SLM | 100-150SLM | 200-300SLM | 400-500SLM |
气体 | 非腐蚀气体 和部分腐蚀气体 | ||||
精度 | ±1.0%FS | ±2.0%FS | |||
重复性 | ±0.25%FS | ±0.5%FS | |||
有效范围 | 2-* | 5-* | |||
响应时间 | 1秒以内 | 1.5秒以内 | 2秒以内 | ||
耐压 | 1.0Mpa | ||||
进口大压力 | 0.5Mpa | ||||
工作压差 | 0.05-0.35Mpa 根据流量不同,需要压差不同 | ||||
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | 1*10-7pa·m³/s以下 | |||
温度范围 | 5~50℃ | ||||
精度保证温度 | 15~35℃ | ||||
保存温度 | -10~60℃ | ||||
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | ||||
材质 | 本体SUS316、SUS316L | ||||
密封圈VITON,选配NBR或FKM | |||||
电气接口 | DB9 | ||||
通讯接口 | RJ45 和 圆芯4芯 | ||||
模拟信号 | 0-5V输入/输出 | ||||
供电 | +24VDC(±10%)350mA;±15VDC(±10%)350mA | ||||
管路连接 | 标配1/4F9、1/2SW | ||||
选配1/4UJR、3/4SW | |||||
重量 | 约850-3500g |
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