上海华械自动化设备有限公司
腐蚀性气体(如:NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)
更适用于液体气化后的流量控制。
如:氨水、硅油气化后,大限度允许气体湿度*
性能/参数 | LKF5系列质量流量控制器 |
流量范围 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
标定气体 | 内置130条气体可选择,含腐蚀气体 |
精度(调零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
高精度(调零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
重复性 | ±0.2%FS |
漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
工作范围 | 0.5-* |
响应时间 | 100毫秒(调整) |
启动预热时间 | 1秒内 |
标准工况 | 25ºC & 14.696 psia,可自定义修改 |
工作温度范围 | -10~-50℃(另有高温订制品) |
工作湿度范围 | 0-*RH(非冷凝) |
大工作压力 | 10Bar |
安装方向 | 任意 |
阀门状态 | 常闭 |
材质 | SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez) |
显示屏 | 背光LCD显示屏,同时显示流量、压力、温度 |
数字信号 | 标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
第二路模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
电气接口 | 标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
供电电压 | +24VDC |
消耗电流 | 20SLPM以内:250mA 50SLPM以内:750mA |
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