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中国台湾FURNAN福南油泵齿轮泵油箱内油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中国台湾福南FURNAN叶片泵*压阻式压力传感器是采用半导体材料沿其晶向切取细薄片作为应变片——压力敏感元件所铆制成的压力传感器。半导体材料在某一方向承受压力时，电阻率将发生显著变化，可将P型或N型半导体晶体细薄片作为电阻应变片用胶水牢固地粘贴在能感受压力变化的弹性元件上。’当弹性元件随压力变化而产生应起时，半导体电阻应变片也受压产生壁应变，使其电阻发生变化，电阻值的变化量与弹性元件的应变量成正比。测量此电阻值的变化量便可测出弹性元件的应变量，从而测出压力的大小。
图5-68为压阻式压力传感器结构，被测压力先作用在钢膜片上，通过硅油将压力传给硅膜片，使压敏电阻变化并通过电桥将号输出，从而测出液体压力的大小。钢膜片隔开被测液体和硅膜片，可保护硅片，使其性能稳定。钢膜片和硅油的不可压缩性保证了被测压力可等效传到硅膜片上，它们也不影响传感器的灵敏度、线性和迟滞等性能，只影响零点效应和频率特性。
齿轮泵压阻式压力传感器测压范围宽，精度高，固有频率高，动特性好，重量轻，耐冲矗击振动，因广泛用于生产、科研中。

中国台湾福南FURNAN叶片泵VHO-F-20-A1-T9 VHO-F-20-A2-T9

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由电阻应变片和压力敏感元件所组成。压力敏感元件有膜片式、溅射薄膜式、应变筒式、变简支芝梁式和组合式笔等。
电阻孟≥甘常用的有：电阻丝应变片[图5-63 (a)]，它由一根直径为O．。12～0. 05mm的齿轮泵高电阻系数的金属丝1（如康铜丝、镍铬合金丝等）绕成栅状，用胶水牢固地粘贴在绝缘片2．上，电阻丝两端各焊接一根较粗的紫铜丝3作为引出线，上面再贴一层覆盖物。箔式应变片[图5-63 (b)]，它是由厚度为O．005～0．Olmm的高弹性合金（如铜基、铁基、镍基）材料制成的合金箔加热附着在厚度为0.05mm的塑料片基上，用腐蚀加工的方法制成栅形而成。理想的材料为铌基合金，这种高温恒弹性材料无磁，耐蚀，弹性模量值低（弹性很高），滞后小，灵敏度高，使用温度达到一55～150℃，这些特性将大大提高传感器的性能和精度。半嗡变片[图5-63 (c)]，它是将P型或N型半导体晶体沿一定晶向切取细薄片代替金裤步w。箔制成的应变片，它的体积小、灵敏度高，但受温度影响句大。中国台湾FURNAN福南油泵齿轮泵油箱内油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中国台湾福南FURNAN叶片泵*
应变片式压力传感器的工作原理如图5-64所示。压力敏感元件承受压力后产生应箩笺’阻应变片则将应变量变换为电阻的变化量AR, AR再通过惠斯通电桥将其变成电量（电压）而输出。