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韩国MAT尾气处理设备韩国MAT尾气处理设备
- 公司名称：
- 更新时间：
- 所 在 地：
- 生产地址：
- 浏览次数：
- 西安西能光伏科技有限公司
- 2017-07-28 23:10:26
- 西安市
- 韩国
- 924
【简单介绍】
主要有以下优点：
1. 整机设计美观, 安全标准。
2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高
4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
【详细说明】
韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.
处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点：
1. 整机设计美观, 安全标准。
2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高
4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
System type
Heat-Wet
Features
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
Capacity & Dimensions
500SLM
700mm（W）x850mm（D）x1610mm（H）
Utility
Power（220V）, CDA, N2, Water, Drain, Exhaust
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