产品简介
伯东企业（上海）有限公司乃HVA 88200系列矩形真空闸板阀在中国的总代理, 全权负责其在中国市场的销售和服务.
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详细介绍
美国进口HVA 88200系列矩形真空闸板阀
伯东企业（上海）有限公司乃美国 HVA 在中国的总代理, 全权负责其在中国市场的销售和服务.
HVA 88200系列矩形真空闸板阀特点:
ü 在阀开的状态, 密封圈*隐藏, 可以避免粉尘颗粒污染
ü 在阀闭的状态, 有挡板可以防止物质进入阀内部, 防止污染, 保护阀正常使用.
ü 可现场维护, VAT阀要求替换整个阀, HVA可留在系统上,维护时只取内部零件,密封圈容易清洁或替换, 可明显节省时间和维护成本.
ü 阀体积小, 振动低.
ü 硬质不锈钢驱动主轴, 使用寿命长.
ü 阀门板上没有滚轮和导轨.
ü 阀体不是铸铝, 而是在铝块上机械切割出来的, 以减少铸铝中常见的气泡和金属放气现象.
HVA 88200系列矩形真空闸板阀应用领域:
• AKT 离子系统
• Emcore/Veeco,Cree,PECVD系统
• 大学和研究所
• 薄膜沉积系统
• 溅镀或蒸发式沉积系统
• 开口宽度从
HVA 88200系列矩形真空闸板阀与VAT（02/03系列）技术规格比较表:
| | HVA （88200系列） | VAT （02/03系列） | |
| 材料 | 阀体和阀门 | 606I-T6 铝 | EN AW-6082（3.2315） 铝 |
| 密封波纹管 | AM-350 | AISI 633 （AM 350） | |
| 驱动主轴 | 硬质不锈钢 | AISI | |
| 密封材料 | Viton | FKM （VITON） | |
| 真空 | 真空范围 | 1E-9 mbar | 1E-6 mbar 到 1.2 bar |
| 氦测漏 | <2E-9 mbar l/s | <1E-9 mbar l/s | |
| 容许压差 | 1 bar （双向） | 1.2 bar （双向） | |
| 开阀前压力 | ≥30 mbar | ≤30 mbar | |
| 烘烤温度 | 人造橡胶 | | |
| 动作部分 | | | |
| 外围部件 | 使用压缩气体 | 80 psig | 2-6 bar （20-90 psi） |
| 位置指示器 | 115VAC 或 28VDC, 20mA | ≤50 VAC/DC ,≤ | |
| 使用寿命 | 3,000,000+ | 5,000,000 | |
若您需要进一步的了解HVA 矩形真空闸板阀产品详细信息或讨论，
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