北京华林嘉业科技有限公司

硅片腐蚀机;硅片清洗腐蚀设备;基片湿处理设备;硅片清洗刻蚀设备

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CGB-XXXX-XX全自动RCA腐蚀机

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  • 北京华林嘉业科技有限公司
  • 2017-12-26 04:11:56
  • 北京市
  • 北京市通州区宋庄镇后夏工业区
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【简单介绍】

德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;产品可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。 5.人机界面为触摸屏,方便直观。 6.除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完。

【详细说明】

全自动RCA腐蚀机

型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;产品可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。该设备适用于2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。 5.人机界面为触摸屏,方便直观。 6.除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完。

    
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